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NTIS 바로가기국가/구분 | WIPO(WO) A1 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0036658 (2013-04-15) |
공개번호 | WO-0162937 (2013-10-31) |
우선권정보 | US-201261637192 (2012-04-23); US-201261649827 (2012-05-21); US-201313860479 (2013-04-10) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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An electrostatic chuck (ESC) with a cooling base for plasma processing chambers, such as a plasma etch chamber. An ESC assembly includes a 2-stage design where a heat transfer fluid inlet (supply) and heat transfer fluid outlet (return) is in a same physical plane. The 2-stage design includes an ass
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