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NTIS 바로가기국가/구분 | WIPO(WO) A1 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | KR-0004345 (2014-05-15) |
공개번호 | WO-0174562 (2015-11-19) |
우선권정보 | KR-20140057661 (2014-05-14); KR-20140057657 (2014-05-14); KR-20140057664 (2014-05-14) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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The present invention relates to a pollutant monitoring device and, more particularly, to a pollutant monitoring device which is formed in the same form as a transport enclosure or a transport cassette of a track traveling type automatic transport apparatus which transports a semiconductor wafer use
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