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NTIS 바로가기국가/구분 | WIPO(WO) A2 공개 |
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출원번호 | US2019/015038 (2019-01-24) |
공개번호 | 2019/147872 (2019-08-01) |
우선권정보 | 15/879,611 (2018-01-25) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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A multi-beam metrology system includes an illumination source configured to generate a beam array, an illumination sub-system to direct the beam array to a sample at an array of measurement locations, an imaging sub-system to image the array of measurement locations as an array of imaged spots in a
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