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NTIS 바로가기국가/구분 | WIPO(WO) A1 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | KR2020/003341 (2020-03-11) |
공개번호 | 2020/213836 (2020-10-22) |
우선권정보 | 10-2019-0044499 (2019-04-16) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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The present invention relates to an edge ring among components for manufacturing semiconductors used in a semiconductor manufacturing process. The SiC edge ring of the present invention comprises: a first deposition part having a plasma-damaged portion and a non-damaged portion and comprising SiC; a
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