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NTIS 바로가기국가/구분 | WIPO(WO) A1 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | JP2022/027603 (2022-07-13) |
공개번호 | 2023/286812 (2023-01-19) |
우선권정보 | 2021-115904 (2021-07-13) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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This electrostatic chuck comprises a chuck member, a base member, and a bonding material. The bonding material is positioned between the chuck member and the base member. The bonding material contains a polyimide. The bonding material has a gap in a middle section that is at a distance from the chuc
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