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열간정수압소결을 이용한 정전척 제조기술 개발
Development of manufacturing technology for an electrostatic chuck by hot isostatic press 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국생산기술연구원
Korea Institute of Industrial Technology
연구책임자 이택우
참여연구자 권오형 , 김형균 , 김민태
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2022-11
과제시작연도 2022
주관부처 과학기술정보통신부
Ministry of Science and ICT
등록번호 TRKO202300004486
과제고유번호 1711175071
사업명 한국생산기술연구원연구운영비지원(주요사업비)
DB 구축일자 2023-08-09
키워드 정전척.열간정수압소결.분말야금.알루미나.내플라즈마.Electrostatic chuck.Hot isostatic press.Powder metallurgy.Alumina.Plasma resistance.

초록 ▼

□ 기업의 애로사항
○ 코나솔은 Fe계 압연롤 등 일부 금속제품의 개발 및 생산에 집중되어 있음
○ 최근, 새로운 먹거리 분야로 정전척 개발을 계획하고 있는 반면, 대형 HIP를 활용한 연구개발 진행은 어렵고, 세라믹 소재에 대한 연구개발은 시작단계임

□ 지원(해결) 내용
○ 고온 공정용 canning free 기술 개발
○ 고온 공정용 canning free 기술 개발
< 고온 공정용 canning free 기술 개발 >
○ HIP 공정 조건 별 특성평가 및 미세조직 분석

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제 출 문 ... 2
  • 기본사업 연구보고서 ... 3
  • 지원 사례 요약 ... 4
  • 목차 ... 6
  • 제 1 장 개 요 ... 7
  • 제 1 절 연구개발(지원) 목표 ... 7
  • 제 2 절 연구개발(지원)의 필요성 ... 7
  • 제 3 절 당해연도 연구개발(지원) 범위 ... 10
  • 제 2 장 연구개발(지원) 내용 및 결과 ... 12
  • 제 1 절 연구개발(지원) 추진 체계 ... 12
  • 제 2 절 당해연도 연구개발(지원) 내용 ... 15
  • 제 3 절 당해연도 연구개발(지원) 결과 ... 24
  • 제 3 장 수요기업 성과활용 ... 25
  • 제 1 절 수요기업의 성과활용 내용 ... 25
  • 제 2 절 기대효과 ... 25
  • 제 5 장 참고문헌 ... 26
  • 끝페이지 ... 27

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참고문헌 (25)

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