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NTIS 바로가기등록일자 | 2004-05-27 |
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출처 | RESEAT |
URL | https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=72b4440624d54a48a5ed8ee9bf95ed32&fileSn=1&bbsId= |
□ 진공 기술은 저진공(1Torr)에서 극초고 진공(10-10Torr 이하)에 이르기까지 광범위한 산업분야에 응용되고 있으며, 특히 재료 및 표면 연구, 원자핵 물리 연구, 입자 가속기, 우주 실험, 반도체 및 최근의 나노기술에 이르기까지 광범위하게 사용되고 있다. 미국 Utah대학 Space Dynamics Laboratory의 Space Simulation Chamber의 경우 NASA의 우주 실험을 위해 Space Simulation Chamber 내의 온도는 -250~200℃의 극저온에서 냉각과 과열이 이뤄지고, 내부압력은
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