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NTIS 바로가기등록일자 | 2004-09-13 |
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출처 | RESEAT |
URL | https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=7bda6b8735754e9887d9c6289f16b027&fileSn=1&bbsId= |
□ 터보분자 펌프(Turbomolecular Pump, TMP)는 수천~수만 rpm의 고속으로 회전하는 회전자의 날개들이 그들의 영역으로 들어온 기체분자를 쳐서 그 운동방향을 펌프의 배출구방향으로 향하게 하여 배출시키고 진공상태를 얻는 시스템이다.
□ 이 펌프는 거의 반세기 전인 1958년 독일인 Becker에 의해 개발된 이래 1970년대까지는 고진공을 필요로 하는 핵물리학, 핵융합, 표면과학 등 일부 연구 분야에 한해 이용되었다.
□ 산업적으로 응용되기 시작한 것은 1980년대에 반도체
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