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NTIS 바로가기등록일자 | 2004-02-28 |
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출처 | RESEAT |
URL | https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=e69c1a73e2864f1c80d1895fefc7b3df&fileSn=1&bbsId= |
□ 최근 기상법 표면처리 분야에서는, 재료개발 면에서 획기적인 타개책(break through)이 나오는데, 그 중에 하나는 DLC(Diamond Like Carbon)이고, 또 다른 하나는 나노튜브(Nano Tube)로서 21세기를 대표하는 재료로서 기대된다. DLC는 윤활성과 이형성이 우수하기 때문에 금형의 표면처리로 유망시 된다.
□ 플라스마 CVD는, IC(집적회로)의 표면보호막, 태양전지재료, 액정표시용 박막 트랜지스터 등 전자재료 제조에 공헌하였으며, 절삭공구나 금형 등의 내마모성 경질피막 제작 분야에
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