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NTIS 바로가기등록일자 | 2004-12-02 |
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출처 | RESEAT |
URL | https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=4d3ab3a4f9af412a8588c7729e6906af&fileSn=1&bbsId= |
□ “유기금속기상성장법에 의한 나노구조의 제작”은 일본 Hokkaido대학 교수 Takashi Fukui와 같은 대학에 있는 Junichi Motohisa박사에 의하여 집필한 논문을 응용물리(일본) 제73권 제 5호(2004)에 해설형식으로 실린 논문의 내용이다. 이 두 과학자는 화합물반도체의 에피택시(Epitaxy)성장에 의하여 양자 도트, 초격자, 단 전자소자회로연구로 알려져 있는 인물이다.
□ MOVPE결정성장법은 평형상태에서 공급한 유기금속원료를 열분해해서 기판표면에 III(기상)+(1/4)V4(기상)=I
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