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유기금속 기상 성장 법에 의한 나노구조의 제작(Formation of semiconductor nanostructures by metalorganic vapor phase epitaxy) 원문보기

초록

□ “유기금속기상성장법에 의한 나노구조의 제작”은 일본 Hokkaido대학 교수 Takashi Fukui와 같은 대학에 있는 Junichi Motohisa박사에 의하여 집필한 논문을 응용물리(일본) 제73권 제 5호(2004)에 해설형식으로 실린 논문의 내용이다. 이 두 과학자는 화합물반도체의 에피택시(Epitaxy)성장에 의하여 양자 도트, 초격자, 단 전자소자회로연구로 알려져 있는 인물이다.

□ MOVPE결정성장법은 평형상태에서 공급한 유기금속원료를 열분해해서 기판표면에 III(기상)+(1/4)V4(기상)=I

참고문헌 (25)

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