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NTIS 바로가기등록일자 | 2004-12-30 |
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출처 | RESEAT |
URL | https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=d1ed9e5428a74a479811cc74e29a2500&fileSn=1&bbsId= |
□ 지금부터 거의 반세기 전인 1958년 독일인 Becker에 의해 터보분자펌프(Turbo-molecular Vacuum Pump : TMP)가 개발된 이래 1970년대까지는 핵물리학과 표면과학 등 일부 연구 분야에 한해 이용되었다.
□ 1980년대에 반도체산업이 발전하면서 박막기술의 응용과 결부된 공업용으로 공급되기 시작하여 현재는 핵물리학과 표면과학 분야의 연구 뿐 만 아니라 반도체 분야에서 필수적인 장비로 이용되고 있고, 앞으로 역시 반도체산업의 발전과 결부되어 TMP의 제품과 기술수요는 증가할 것으로
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