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NTIS 바로가기등록일자 | 2004-11-08 |
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출처 | RESEAT |
URL | https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=2a3c19e7936e4ea6bf1599285a514ffc&fileSn=1&bbsId= |
□ 고정밀도부품 자유곡면의 경면가공은 일반적으로 연삭가공으로는 어려우며, 경면에 광택을 내기에는 불가능한 것으로 알려져 있다. 따라서 초정밀 경면가공에는 소결합금(cBN, TiN, TiC등)절삭공구에 의하거나 혹은 다이아몬드공구에 의한 절삭가공으로 하는 경우가 많다. 최근 다이아몬든 절삭공구를 사용한 초정밀 가공으로 제작되고 있는 광소자나 전자부품들은 다이아몬드의 정밀연마로 원호형상의 날 윤곽 정밀도에서 0.05μm, 직선 날의 진직도는 0.01μm/2mm를 얻을 수 있다. 그래서 다이아몬드 절삭공구의 수요는 해를 거듭할수록 증가하
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