최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기등록일자 | 2008-02-25 |
---|---|
출처 | RESEAT |
URL | https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=905b8021d06449048248d1a29a7da5b0&fileSn=1&bbsId= |
○ MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 기술은 초소형, 고성능화를 충족시킬 수 있는 최첨단 미세가공 기술이다. 반도체 제조공정 기술을 이용한 전자요소와 미소 기계요소를 접목한 시스템화 기술이며, 초소형 대상물뿐만 아니라 초소형 대상물을 만드는 가공기술을 포함하고 있다.
○ MEMS 기술은 실리콘 압력센서를 이용한 자동차 엔진제어용 센서 등에 활용되면서 시작되었으며, 현재 실리콘 입력센서 업체를 중심으로 발전하여 많은 벤처기업이 파생되었다. MEMS 기술의 응용분야는 자동차 시장을
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.