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NTIS 바로가기등록일자 | 2008-09-09 |
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출처 | RESEAT |
URL | https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=d401e56c5d214862a9769152306e9a66&fileSn=1&bbsId= |
○ ZnO는 화합물 반도체로 3.37eV 밴드갭 에너지를 가지며, 실온에서 결합에너지가 60meV로서 열에너지(26meV)보다 크다. 최근에 태양전지, 레이저, 발광다이오드 등 광전자 소자에 이르기까지 다양한 분야에서 응용이 연구되고 있다.
○ 따라서 균일한 크기의 ZnO 나노입자를 합성하는 기술의 중요하게 되고 있고, 여러 가지 합성방법이 제안되고 있다. 합성에는 크게 물리적인 합성방법과 유기금속화합물의 가수분해의 응축반응에 기초한 졸-겔 공정이 주류를 이루고 있다.
○ 실제 화학기상 증착법
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