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NTIS 바로가기등록일자 | 2009-05-11 |
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출처 | RESEAT |
URL | https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=e577524698034064bcd689602efd7231&fileSn=1&bbsId= |
○ AFM(Atomic Force Microscope, 원자간력 현미경)이나 SFM(Scanning Force Microscope)은 nm의 수분의 1인 분해능으로 광학적 회절한계 보다 1,000배 이상 큰 분해능을 가진 고분해능 스캐닝 탐촉자 현미경(scanning probe microscope)이다. AFM은 물질 표면을 나노스케일로 측정하고 영상화할 수 있는 강력한 도구 중 하나이다. 압전소자 탐촉자를 사용하여 표면을 매우 정밀하게 스캔(scan)할 수 있다.
○ AFM은 전자현미경(SEM)에 비해 몇 가
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