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NTIS 바로가기등록일자 | 2012-03-02 |
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출처 | RESEAT |
URL | https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=678ac05ee53f47f1b9f12b3844a5db0a&fileSn=1&bbsId= |
○ 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope)은 초점심도가 깊고 3차원적인 영상의 관찰이 용이해서 시료의 성분, 구조와 결정외형 등을 나노 수준에서 높은 배율로 관찰할 수 있는 분석 장비이다. SEM의 기본원리와 특성을 충분히 이해하여 시료를 분석하고자 하는 목적에 부합하는 전자총과 대물렌즈를 선택하여 시료를 측정하고 분석하는 기술이 필요하다.
○ SEM은 장치의 고성능화로 분해능이 향상되고 나노스케일에서의 관찰도 가능해졌다. 금속, 광물, 반도체소자와 신소재, 고분자, 생체 시
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