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NTIS 바로가기등록일자 | 2012-03-14 |
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출처 | RESEAT |
URL | https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=9b78458c005b4bd99906ed20d01e1fad&fileSn=1&bbsId= |
○ PFM은 원자 힘 현미경(AFM: atomic force microscopy)의 한 파생종이다. AFM이 팁과 샘플 표면 사이에 작용하는 원자 힘을 탐지하여 표면 현상을 시각화하는 것과 달리, PFM은 샘플의 압전반응에 의하여 나타나는 표면변형에 대한 팁과 캔틸레버의 기계적 반응을 진동의 형태로 측정하여 표면 형상을 시각화한다.
○ AFM과 PFM 시스템의 구성은 본질적으로 동일하다. 많은 경우에 AFM 공급자는 lock-in 증폭기와 신호 발생기 등 PFM 측정에 필요한 기기를 추가
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