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NTIS 바로가기등록일자 | 2013-11-26 |
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출처 | RESEAT |
URL | https://www.reseat.or.kr/portal/cmmn/file/fileDown.do?menuNo=200019&atchFileId=36a750b1818344809e562987df7a223c&fileSn=1&bbsId= |
1982년 개발된 주사터널링현미경(scanning tunneling microscope, STM)은 선단이 날카로운 전극을 시료표면에 원자의 크기까지 근접시키면 전극원자와 시료원자 사이에 전자가 양자역학적으로 터널링될때 전류가 일정하게 흐르는 전압을 모니터링 하여 원자크기로 시료의 표면영상을 얻는다. STM으로 물리학자들은 고체표면의 원자상태를 직접 관찰할 수 있다. 모든 물체의 표면은 물질구조가 마감되는 가장자리이기 때문에 물질구조를 규명하는 매우 중요한 정보를 제공하는 부분이다. 특히 마이크로일렉트로닉스 소자의 표면구조는 물리학
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