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초정밀 측정기술 개발;Scanning Tunneling Microscope의 개발
Development of Precision Measurement Technology;Development of Scanning Tunneling Microscope 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국표준과학연구원
Korea Research Institute of Standards and Science
연구책임자 구자용
참여연구자 김달현 , 김영주 , 이우천 , 임우혁
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1992-06
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국표준과학연구원
Korea Research Institute of Standards and Science
등록번호 TRKO200200007439
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 STM.UHV Nanotechnology.Atomic Resolution.Tunneling.Surface.STM.UHV Nanotechnology.Atomic Resolution.Tunneling.Surface.

초록 ▼

\\ 연구개발의 내용 및 범위 \\ 본 연구에서는 초고진공(Ultra High Vacuum)에서 사용할 수 있는 STM을 자체 개발하는데 중점을 두었다. 3년간의 결과 최종년도인 금년까지 개발완료된 내용은 아래와 같다. \ 1. STM의 기반기술 확립 \ \ 가) 탐침의 전기화학적 부식 및 검사 \ \ 나) 3차원 PZT주사기 제작 및 교정 \ \ 다) Feedback 제어를 위한 전자회로 제작 \ \ 2. 운용 Software \ \ 가) 시료의 단순 표면형상 관찰 \ \ 나) 반도체 표면에서 전자의 Density Of State

목차 Contents

  • 제1장 서론...11
  • 제1절 연구개발의 배경 및 필요성...11
  • 제2절 연구개발의 목표 및 결과...12
  • 제2장 배경 및 원리...14
  • 제1절 발전과정...14
  • 제2절 측정원리...16
  • 제3장 STM의 기계적 구조...21
  • 제1절 진동의 차단과 감쇄...21
  • 제2절 3차원 PZT 주사장치...22
  • 제3절 초기접근장치...25
  • 제4절 초고진공용 STM...26
  • 제4장 전자 제어부...33
  • 제1절 터널링 전류의 검출...33
  • 제2절 변조기...33
  • 제3절 적분기 및 역되먹임 회로...34
  • 제4절 Tunneling Spectroscopy...35
  • 제5장 컴퓨터에 의한 제어...41
  • 제1절 컴퓨터와의 접속...41
  • 제2절 초기접근 및 자료수집...41
  • 제3절 화상처리...44
  • 제6장 시료관찰...45
  • 제1절 탐침의 준비...45
  • 제2절 초고진공환경의 조성...46
  • 제3절 시료관찰...47
  • 제7장 결론...49

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참고문헌 (25)

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