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NTIS 바로가기등록일자 | 2006-08-22 |
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출처 | KOSEN-코센리포트 |
URL | https://kosen.kr/info/kosen/447704 |
문서암호 : www.kosen21.org
1. 분석자 서문
진공 아크는 높은 전류, 낮은 전압에서의 전기 방전이다. 이때 전류는 방전에 의해 기화되고 이온화된 전극 물질로 이루어진 플라즈마를 통하여 흐르게 된다. 일반적은 음극 아크 증착에서 음극 표면의 임의의 아주 작은 점이 음극 점(Cathode Spot: 방전에 의해 전류가 흐르는 위치)으로 작용하여 전류가 흐르기 시작하면서 전기 저항 열이 발생한다. 이때, 발생된 극소 부분의 열이 음극 물질을 녹이면서 플라즈마가 초음속으로 반대 극으로 발사되며, 대형
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