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NTIS 바로가기등록일자 | 2006-09-13 |
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출처 | KOSEN-코센리포트 |
URL | https://kosen.kr/info/kosen/454550 |
문서암호 : www.kosen21.org
1. 분석자 서문
음극 진공 아크 증착 방식은 극대화된 이온전류를 이용하여 여러 가지 재료의 박막 증착을 가능하게 한 획기적인 공정 방법이다. 이는 특별히 열적평형을 요구하지 않고 meta-stable 상전이를 필요로 하는 재료 합성에 적합한 공정 기술로서 유럽, 특히 러시아를 중심으로 1970년대 이후 급속히 개발되어 왔다. 하지만 아크 증착 기술이 갖고 있는 최대의 문제점인 마크로 입자 결함(macro-particle defect) 발생 문제가 해결되지 않는 한
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