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NTIS 바로가기등록일자 | 2007-10-04 |
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출처 | KOSEN-코센리포트 |
URL | https://kosen.kr/info/kosen/586529 |
문서암호 : www.kosen21.org
1. 분석자 서문
실제 반도체 재료의 결정에는 격자 주기성의 여러 가지 흐트러짐이 존재하며, 이것들을 총칭하여 격자결함(Lattice defect)이라 한다. 이 중에서 반도체내에 형성된 점 결합(Point defect)은 반도체의 다양한 거동특성을 결정하며, 벌크(Bulk) 및 표면 모두에서 전기적으로 대전될 수 있다. 결함의 형태 또한 대전 상태에 따라 크게 달라지며, 이러한 대전 현상은 다양한 결함 특성 즉, 재료의 구조, 열 확산율, 전자와 전공의 발생 및 소멸에 관
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