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NTIS 바로가기등록일자 | 2008-09-29 |
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출처 | KOSEN-코센리포트 |
URL | https://kosen.kr/info/kosen/746587 |
원문 | http://www.iop.org/EJ/article/0034-4885/71/7/076501/rpp8_7_076501.pdf?request-id=40584913-1a5b-4154-bf01-8a533f0780ac |
문서암호 : www.kosen21.org
1. 분석자 서문
이 보고서는 애초 시료 표면의 모양을 측정하는 기구로 개발된 원자간힘현미경(Atomic Force Microscopy, AFM)의 탐침에 전압을 걸어 시료(주로 반도체)의 전기적 특성을 조사하는 도구로 발전된 분야에 대해서 기술하고 있다. 탐침에 전압을 거는 방법 및 시료와의 전류나 전위를 측정하는 방법이 다양하기 때문이 이 분야는 매우 광범위하다. 이 보고서는 그 기술들 중에서 대표적인 켈빈탐침힘현미경(Kelvin probe force microscopy
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