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NTIS 바로가기등록일자 | 2008-09-30 |
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출처 | KOSEN-코센리포트 |
URL | https://kosen.kr/info/kosen/747190 |
원문 | http://www3.interscience.wiley.com/cgi-bin/abstract/117901965/ABSTRACT |
문서암호 : www.kosen21.org
1. 분석자 서문
마이크로 캔틸레버는 MEMS구조물의 대표적인 예로써 근래 10여 년 간 측정장치로서 뛰어난 특성을 인정받아 많은 연구가 수행되고 있다. 마이크로 캔틸레버의 표면에 이종재료를 코팅하여 만든 바이모프형 센서는 매우 높은 측정 민감도(sensitivity)를 얻을 수 있고 소형화가 용이하여 화학, 생물, 기계 측정분야에서 인공코, 인공혀와 같이 정교한 새 세대의 센서로 많이 개발되고 있다. 여기서는 바이모프형 측정장치의 측정방식, 변환이론, 제조기법, 측
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