초록

클린룸의 이용분야가 날로 확대되어가고, 첨단산업 발전이 가속화되어감에 따라 국내의 관련산업 종사자 및 사용자 간에 소통될수 있는 기준을 국내 실정에 맞게 설정하므로써 기술적 목표를 제시하고 기술 개발을 유도한다. 세계 주요 클린룸 관련 기준의 분석 및 연구자문 위원회의 자문과 검토아래, 클린룸 기술 기준 1차 시안을 작성하였으며, 기준안을 보완, 개선하기 위한 시험, 측정사안을 도출하였다. 또한 관련 업계간의 Work-Shop 을 통한 참여와 합의에 의하여 클린룸 공사 품셈의 1차 시안을 작성하였다.

목차 Contents

• 제1장 서론...13
• 제2장 클린룸 기술 기준...16
• 제1절 역사 및 개요...16
• 제2절 외국 기술 기준...22
• 제3절 국내 기술 기준...41
• 제4절 CR 기술기준의 작성...42
• 1. 1차 시안의 작성...42
• 2. 해설...45
• 3. 문제점 및 추후과제...62
• 제3장 클린룸 공사 품셈 시안...64
• 제1절 개요...64
• 제2절 품셈 시안의 작성...65
• 1. 작성 방법...65
• 2. 문제점 및 추후과제...65
• 제4장 실험용 클린룸...67
• 제1절 실험연구의 목적 및 범위...67
• 1. 실험연구의 목적...67
• 2. 실험연구의 범위...67
• 제2절 시험$\cdot$측정...68
• 1. 공기 청정도 등급에 대한 시험$\cdot$측정...68
• 2. 유동 관련 사항에 대한 시험$\cdot$측정...73
• 3. 환경조건에 대한 시험$\cdot$측정...76
• 제3절 실험용 클린룸의 기본설계...76
• 1. 실험을 위한 가변성...76
• 2. 설계를 위한 기본적 요구사항...77
• 3. 개념 설계도...78
• 제5장 결론 및 향후 연구계획...83
• 참고문헌...86
• 부록...89
• 1. 청정실 기술기준 1차시안...89
• 2. 클린룸 공사 품셈 1차시안...140
• 3. 오염제어 및 클린룸 관련 외국 기술기준 목록...176
• 4. 오염제어 및 클린룸 기준 관련기관 목록...207
• 5. 실험용 클린룸의 세부 설계도...211