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클린룸 및 공장환기에 관한 연구
A Study on Clean Room and Industrial Ventilation 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국과학기술원
Korea Advanced Institute of Science and Technology
연구책임자 이춘식
참여연구자 김영인 , 이진원 , 김인찬 , 원치용 , 성관제 , 김무근 , 강병하 , 최해진 , 김성진 , 전재학 , 강상철
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1985-12
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국과학기술연구원
Korea Institute Of Science and Technology
등록번호 TRKO200200001589
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 클린룸.컴퓨터 simulation.입지측정.

초록 ▼

공장환기와 클린룸의 관련기술을 분석, 분류하여 세계의 클린룸 기술 현황 및 전망을 분석 평가하고, 이를 근거로 하여 우리나라에서의 현황과 문제점 파악 및 장기적 발전계획 수립이 시도되었으며, 개발연구의 우선 순위대로 주요기술의 이론적 고찰과 함께 이를 뒷받침하기 위한 실험수행이 병행되었다. 0.5μ관련기술의 완전확립후, 0.1μ이하의 submicron제어를 위해 발전하고 있는 세계적 추세에 비추어, 국내의 설계자료와 경험의 부족을 단시일내에 확충할 수 있도록, 체계적인 실험과 이론에 근거한 simulation model의 개발, 그

목차 Contents

  • 제 1 장 서 론...15
  • 제 2 장 공장환기 기술 요약(I)...18
  • 1. 환기일반...18
  • 가. 환기설계를 위한 순서...18
  • 나. 환기방법...20
  • 2. 공장환기...20
  • 가. 환기목적...20
  • 나. 환기정도...20
  • 다. 환기방법...25
  • 제 3 장 CR 관련기술 요약 (I)...62
  • 1. CR 의 역사...62
  • 2. CR 의 종류 및 특성...62
  • 3. CR 의 내부구조...67
  • 4. CR 배치계획...69
  • 5. Filter...71
  • 제 4 장 CR 기술 현황 분석 및 연구방향 설정...81
  • 제 1 절 세계의 CR 기술 및 연구현황...81
  • 1. CR 이용현황 및 전망...81
  • 2. CR 기술의 현황 및 전망...85
  • 가. CR 기술의 분류...85
  • 나. CR 기술의 현황...86
  • 다. CR 기술의 전망...91
  • 3. CR 관련 연구 현황...92
  • 가. 연구개발 필요분야...92
  • 나. 연구개발 동향...94
  • 4. CR 관련 주요 기관...99
  • 가. IES...99
  • 나. JACA...100
  • 다. 기타 관련기관...102
  • 제 2 절 세계의 CR 관련 기준...104
  • 1. CR 관련 기준의 역사...104
  • 2. CR 관련 기준의 현황...106
  • 3. 외국어 주요 관련 기준...109
  • 제 3 절 연구개발 계획...109
  • 1. 우리나라의 CR 현황...109
  • 가. 이용 현황...109
  • 나. 제조업체 현황...111
  • 다. 연구 현황...112
  • 2. 종합적인 연구개발 체계의 필요성...113
  • 3. KAIST의 연구방향...115
  • 제 5 장 연구분야별 기초이론 및 결과...117
  • 제 1 절 입자측정...117
  • 1. 개 요...117
  • 2. 측정기기의 분류 및 특성...119
  • 가. 분류...119
  • 나. 응축핵 측정기...120
  • 다. DB...122
  • 라. DMA...123
  • 마. 공기역학적 입자계수기...125
  • 3. 광산란식 입자계수기...127
  • 가. Light Scattering 이론...127
  • 나. OPC 의 구조와 Response Curve...132
  • 다. 최소 측정크기...137
  • 4. 기타의 측정관련 기술...140
  • 가. Sampling...140
  • 나. 측정결과의 통계적 정확도...145
  • 제 2 절 CR Computer Simulation...147
  • 1. 개 요...147
  • 2. 유동해석 전산 프로그램...147
  • 가. 유동해석 전산화...147
  • 나. 수치해석의 방법...149
  • 3. 계산 결과...167
  • 4. 입자 거동의 해석...177
  • 제 3 절 최적화 이론...179
  • 1. CR 씨스템의 최적화...179
  • 2. Filter 조합의 최적 선택...182
  • 제 6 장 실험용 CR 및 성능시험...188
  • 제 1 절 실험씨스템...188
  • 1. 실험목표...188
  • 2. 실험용 CR...189
  • 3. 측정 씨스템...197
  • 제 2 절 실험용 CR 의 성능시험...205
  • 1. 시험내용 및 방법...205
  • 2. 풍속 및 균일도 시험...206
  • 3. Crossbar 에 의한 Disturbance...226
  • 4. 청정도 및 회복시험...231
  • 5. 평 가...232
  • 제 3 절 대기중 입자 농도 측정...233
  • 1. 개 요...233
  • 2. 측정결과...235
  • 제 7 장 결론 및 향후 연구계획...240
  • 참고문헌...242
  • 부 록...245

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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