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플라즈마 화학증착법에 의한 강재 공구의 수명향상에 관한 연구 (III)
The Study on the Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition of TiN,TiC and TiCN onto Tool Steels (III) 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국과학기술원
Korea Advanced Institute of Science and Technology
연구책임자 천성순
참여연구자 김재곤 , 박홍락 , 강창진 , 김시범 , 박영욱 , 김상호 , 민경진
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1989-10
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국과학기술원
Korea Advanced Institute of Science and Technology
등록번호 TRKO200200000320
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 플라즈마 화학증착.보호피막.강재 공구.낮은 증착온도.TIC.TICN.TIN.PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSTION.TIN.TICN.TIC.WEAR RESISTANT COATING.STEEL TOOL.LOW DEPOSITION.LOW DEPOSITION TEMPERATURE.

초록

절삭가공기술이 고속도화, 고능율화의 방향으로 발전함에 따라 각 종 공구의 수명과 절삭특성을 향상시키기 위하여 공구위에 화학증착법으로 TIN, TIC등 보호피막을 증착시키는 연구가 진행되었으며, 현재는 WC-CO 공구에 TIC, TIN 등을 증착시킨 공구가 상업적으로 시판되고 있다. 그러나 화학증착법은 증착온도가 1000$^{\circ}$C 이상의 고온이므로 강재공구에의 보호피막 증착에는 사용될 수 없는 방법으로 평가되어져 있다. 최근에 외국에서 연구가 진행되어온 플라즈마 화학증착법은 플라즈마 에너지를 이용하여 화

목차 Contents

  • 제1장 서론...17
  • 제2장 문헌조사...22
  • 제3장 실험방법...44
  • 제4장 실험결과 및 고찰...62
  • 제5장 결론...103
  • 참고문헌...107

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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