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플라즈마 여기반응성 증착법에 의한 초경공구코팅 (Ⅱ)
Hard Coatings for Cutting Tools by the Plasma Activated Reactive Evaporation 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 서울대학교
Seoul National University
연구책임자 황기웅
참여연구자 서용운 , 이석현 , 구자춘 , 김윤택 , 조상무 , 김명제 , 김경배 , 김영흠 , 고영봉 , 신상호 , 한재근 , 정의형
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1990-06
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 서울대학교
Seoul National University
등록번호 TRKO200200002806
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 초경공구.내마모.PVD.HCD.TIN.Hard Coating.

초록 ▼

초경공구상 Tin이나 Tic와 같은 물질을 코팅함으로서 공구의 내마모 성질을 향상하는 기술는 공구의 부가가치 향상 및 기계공업의 정밀도 향상이나 생산성 향상을 위해 구내 공구산업이 필요로 하는 기술로서 특히 PVD 방법에 의한 기술은 CVD에 비해 비교적 저온에서 가능하다는 점에서 주목할 가치가 있는 기술이다. 본 연구에서는 HCD를 이용한 대전류 전자벙을 이용한 Ti 증발 기술을 개발하여 질소 분위기에서 반응성 여기 중착을 함으로서 산업계에서 사용하기에 적합한 고속도,대면적,다량처리가 가능한 이온 플레이팅 장비가 개발이 되어 대학

목차 Contents

  • 제 1 장 서 론...17
  • 제 1 절 연구개발의 필요성...17
  • 제 2 절 연구개발의 목적 및 내용...19
  • 제 2 장 이온플레이팅 기술 일반...20
  • 제 1 절 개 요...20
  • 제 2 절 이온플레이팅의 특징과 응용...27
  • 제 3 장 실험장치의 수정보완...31
  • 제 1 절 진공배기 시스템...31
  • 제 2 절 회전 Zig장치...33
  • 제 3 절 히터 및 방열판...35
  • 제 4 절 HCD gun-Hearth Assembly...37
  • 제 4 장 HCD 방전 특성 (Ⅱ)...39
  • 제 1 절 실험장치...39
  • 제 2 절 중공음극 벽면의 온도분포...40
  • 제 3 절 HCD의 I-V특성에 있어서 진공도 및 Ar유량의 영향...42
  • 제 4 절 External plasma특성...45
  • 제 5 장 초경절삭공구의 Tin코팅과 그 특성...48
  • 제 1 절 실험장치의 구성...48
  • 제 2 절 Tin코팅막의 X선 회절시험...50
  • 제 3 절 Tin코팅막의 미소경도 측정...62
  • 제 4 절 절삭시험...65
  • 제 6 장 결 론...79
  • 참고문헌...81

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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