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NTIS 바로가기주관연구기관 | 서울대학교 Seoul National University |
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연구책임자 | 황기웅 |
참여연구자 | 조완규 , 서용운 , 이석현 , 구자춘 , 김윤택 , 조상무 , 김명제 , 김경배 , 고영봉 , 신상호 , 한재근 , 윤명수 , 정의형 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1989-06 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 서울대학교 Seoul National University |
등록번호 | TRKO200200000413 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
본 연구에서는 연구에 필요한 장비를 확보하는데 있어서 외국에서 완제품을 도입하는 것을 지양하고, 가능한한 자체 기술에 의해 설계 및 제작하였다. 연구 내용은 크게 초경피막 기술에 대한 이해와 더불어, HCD방전과 공정에 관한 주요 변수의 역할 등을 주요 내용으로 하고있고, 양산용 초경피막 코팅장치의 개발에 역점을 두었으며 이를 요약해 보면 다음과 같다.
(1) WC-Co로 된 절삭공구에 TiN코팅을 할 수 있는 플라즈마 여기 반응성 증착 장치의 설계 및 제작
가) 플라즈마 여기 반응성 증착장치의 설계
나) 10목차 Contents
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