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전자급 시약의 정제에 관한 연구 (3차)
A Study on the Purification for Electronic Chemicals (3rd) 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국과학기술연구원
Korea Institute Of Science and Technology
연구책임자 이종욱
참여연구자 김영만 , 이충훈 , 박명희
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1989-07
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국과학기술연구원
Korea Institute Of Science and Technology
등록번호 TRKO200200000581
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 전자급 시약의 정제.Purification of Electronic Chemicals.

초록 ▼

국내.외에서의 반도체산업의 기술 및 수요 물량면에서의 급속한 발전과 생산규모확대에 따르는 가격인하 추세를 감안하면 가공시약의 국산화로 원가를 절감하므로서 국제시장에서의 경쟁력을 향상시켜 확고한 기반을 구축해야 한다. 이에 국내 시판 공업용 아세톤,트리클로로에틸렌,N-부틸아세테이트,크실렌의 유기용매 4종을 VLSI 가공용 고품위 전자급시약으로 적재하는 방법을 개발하였으며 유기 및 ppb 수준의 무기불순물,기타 규격상의 불순물의 분석방법을 확립하고 현재 시판되고 있는 일제규격제품과 비교 검토하였다. 공업용 유기용매를 VLSI가공용 전자

목차 Contents

  • 제1장 서론...12
  • 제2장 실험...15
  • 제1절 정제...15
  • 제2절 전처리...20
  • 제3절 시료의 분석...28
  • 제3장 결과 및 고찰...40
  • 제1절 유기 불순물의 분석...40
  • 제2절 무기 불순물의 분석...70
  • 제3절 수분 분석...78
  • 제4절 입자 측정...82
  • 제5절 기타 불순물의 분석...84
  • 제6절 비중 측정...87
  • 제4장 결론 및 건의...89
  • 참고문헌...91

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참고문헌 (25)

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