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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술원 Korea Advanced Institute of Science and Technology |
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연구책임자 | 이종욱 |
참여연구자 | 김선태 , 김영만 , 서경수 , 김윤옥 , 채언호 , 최범석 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1987-06 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학기술연구원 Korea Institute Of Science and Technology |
등록번호 | TRKO200200002184 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 전자급 시약의 정제.Isopiestic distillation.Sub boiling distillation.Vacuum distillation. |
반도체 제조공정에서 세정액으로 많이 쓰이는 무기용매 4종의 정제를 시도하였다. 증기압이 큰 염산 및 암모니아는 subboiling 및 isopiestic distillation법으로 정제하였는데 저급의 국산 고업용으로 KANTO의 EL-SS급 및 MERCK의 VLSI Selectipur급에 해당되는 최고급 품위의 제품을 얻을 수 있었다. 증기압이 작고 열분해를 일으키는 질산과 황산은 vacuum distillation이 적합하며 증류온도 및 압력을 적절이 조절해야 한다. 질산의 경우는 함량을 높이기 위하여 황산을 약간 가한 다음 증
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