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연합인증

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초고집적 반도체기술 공동개발;1차년도
Associated Development of ULSI Semiconductor Technology;The 1st Year 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국전자통신연구원
Electronics and Telecommunications Research Institute
연구책임자 경상현
참여연구자 안병성 , 이진효 , 강영일 , 권오준 , 이중환 , 황인덕 , 윤선진 , 백문철 , 권상직 , 김상기 , 이상환 , 차주연 , 한주동 , 강상원 , 정영진 , 이대우 , 유종선 , 신용석 , 김기현 , 이종남 , 강상원 , 송원철 , 김장대 , 백종태 , 유현규 , 최영일 , 황영모 , 최상수 , 이진호 , 김성일 , 이규홍 , 김종대 , 김좌연 , 윤형섭 , 허성익 , 김명근 , 여순일 , 강원구 , 이춘수 , 조양순 , 권오건 , 김재민 , 강진영 , 김진섭 , 마대영 , 변하성 , 곽병화 , 백규하 , 조철회김종연 , 김정미
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1987-06
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국전자통신연구원
Electronics and Telecommunications Research Institute
등록번호 TRKO200200001249
DB 구축일자 2013-04-18

초록

\\연구개발의 내용 및 범위 \\ 분야 : 제품기술 \ 세부과제 : 제품설계기술 \ 종합공정 기술 \ 소자기술 \ 연구 개발 내용 및 범위 : \ Memory Cell 및 주변회로 연구 \ 0.8um 4M DRAM 설계 1차시안 \ 0.8 um Test Pattern 공정 \ Device 구조 설계연구 \ Device Parameter 추출 \ 분야 : 개별공정 기술 \ 세부과제 : 미세패턴형 및 식각기술 \ 소자격리기술 \ 박막유전체 형성기술 \ 배선기술 \ 연구개발 내용 및 범위 : 0.8um Lithography/Dry Etc

목차 Contents

  • 제 1 장 서 론...12
  • 제 2 장 제품기술 분야...15
  • 제 1 절 제품설계 기술...16
  • 제 2 절 종합공정 기술...29
  • 제 3 절 소자 기술...39
  • 제 3 장 개별공정기술 분야...52
  • 제 1 절 미세패턴 형성 및 식각기술...53
  • 제 2 절 소자격리 기술...68
  • 제 3 절 박막유전체 형성기술...82
  • 제 4 절 배선 기술...92
  • 제 5 절 입체구조 커패시터 기술...104
  • 제 4 장 협동개발기술 분야...117
  • 제 1 절 보호막 및 포장기술...118
  • 제 2 절 시뮬레이션 기술...129
  • 제 3 절 시험 및 신뢰성 기술...138
  • 제 5 장 연구소 수행분야...165
  • 제 1 절 반도체소재 및 표면분석 기술...166
  • 제 2 절 평가공통 기초연구...186
  • 제 3 절 위탁연구 지원...194
  • 제 4 절 연구 수행 관리...197
  • 제 6 장 결론...210
  • 부록 1. 참여연구원 명단...212

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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