최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국전자통신연구원 Electronics and Telecommunications Research Institute |
---|---|
연구책임자 | 경상현 |
참여연구자 | 안병성 , 이진효 , 강영일 , 권오준 , 이중환 , 황인덕 , 윤선진 , 백문철 , 권상직 , 김상기 , 이상환 , 차주연 , 한주동 , 강상원 , 정영진 , 이대우 , 유종선 , 신용석 , 김기현 , 이종남 , 강상원 , 송원철 , 김장대 , 백종태 , 유현규 , 최영일 , 황영모 , 최상수 , 이진호 , 김성일 , 이규홍 , 김종대 , 김좌연 , 윤형섭 , 허성익 , 김명근 , 여순일 , 강원구 , 이춘수 , 조양순 , 권오건 , 김재민 , 강진영 , 김진섭 , 마대영 , 변하성 , 곽병화 , 백규하 , 조철회김종연 , 김정미 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1987-06 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국전자통신연구원 Electronics and Telecommunications Research Institute |
등록번호 | TRKO200200001249 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
\\연구개발의 내용 및 범위 \\ 분야 : 제품기술 \ 세부과제 : 제품설계기술 \ 종합공정 기술 \ 소자기술 \ 연구 개발 내용 및 범위 : \ Memory Cell 및 주변회로 연구 \ 0.8um 4M DRAM 설계 1차시안 \ 0.8 um Test Pattern 공정 \ Device 구조 설계연구 \ Device Parameter 추출 \ 분야 : 개별공정 기술 \ 세부과제 : 미세패턴형 및 식각기술 \ 소자격리기술 \ 박막유전체 형성기술 \ 배선기술 \ 연구개발 내용 및 범위 : 0.8um Lithography/Dry Etc
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.