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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국전자통신연구원 Electronics and Telecommunications Research Institute |
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연구책임자 | 유형준 |
참여연구자 | 강봉구 , 김호영 , 이종현 , 김상호 , 김윤태 , 박성호 , 배남진 , 이용일 , 장원익 , 전치훈 , 정기로 , 이상수 , 박승교 , 이영수 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1987-08 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국전자통신연구원 Electronics and Telecommunications Research Institute |
등록번호 | TRKO200200001410 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
\\연구개발의 내용 및 범위 \\ 1. Refractory Metal 용 Lpcvd 장비 개발분야 \ (1) 기술현황 및 공정요구조건 분석 \ (2) 시스템 분석 및 개념설계 \ (3) 주요 모듈 성능분석 및 시험 \ (4) 시스템 상세 설계 \ (5) 시제품제작 \ 2. Polysilicon 용 Lpcvd 장비의 공정 실험 및 DB확립분야 \ (1) 공정실험 \ (2) 성능보완/개선 \ (3) 공정DB확립
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