최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술원 Korea Advanced Institute of Science and Technology |
---|---|
연구책임자 | 이춘식 |
참여연구자 | 김영인 , 이진원 , 김인찬 , 원치용 , 성관제 , 김무근 , 강병하 , 최해진 , 김성진 , 전재학 , 강상철 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1985-12 |
주관부처 | 과학기술부 |
과제관리전문기관 | 한국과학기술연구원 Korea Institute Of Science and Technology |
등록번호 | TRKO200200001589 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 클린룸.컴퓨터 simulation.입지측정. |
공장환기와 클린룸의 관련기술을 분석, 분류하여 세계의 클린룸 기술 현황 및 전망을 분석 평가하고, 이를 근거로 하여 우리나라에서의 현황과 문제점 파악 및 장기적 발전계획 수립이 시도되었으며, 개발연구의 우선 순위대로 주요기술의 이론적 고찰과 함께 이를 뒷받침하기 위한 실험수행이 병행되었다. 0.5μ관련기술의 완전확립후, 0.1μ이하의 submicron제어를 위해 발전하고 있는 세계적 추세에 비추어, 국내의 설계자료와 경험의 부족을 단시일내에 확충할 수 있도록, 체계적인 실험과 이론에 근거한 simulation model의 개발, 그
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.