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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국표준연구소 Korea Research Institute of Standards and Science |
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연구책임자 | 구자용 |
참여연구자 | 김달현 , 김병극 , 김영주 , 최재우 , 임우혁 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1990-05 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
등록번호 | TRKO200200002388 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | STM.PZT scanner.Nanotechnology.Atomic Resolution.Graphite.Antivibration.STM.PZT scanner.Nanotechnology.Atomic Resolution.Graphite.Antivibration. |
공기중에서 사용할 수 있는 Scanning Tynneling Microscope를 개발하였다. 3개의 PZT봉으로 3차원 주사장치를 만들고, Michelson 간섭계로 4-30Hz의 동적상태에서 교정을 하였다. 공기중의 액체시료 등을 위하여 시료와 탐침은 수직관계를 가지도록 하였으며, 스텝모터와 Worm 기어를 사용하여 탐침과 시료사이의 초기접근을 수행하는데 신뢰성과 편의성을 높였다. 흑연표면의 원자수준의 회상과 넓은 범위의 화상을 일정높이와 일정전류 모드에서 각각 구하였다.
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