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가스 검지용 화학센서 개발
Development of Chemical Sensors for Gas Detection 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국과학기술원
Korea Advanced Institute of Science and Technology
연구책임자 윤경석
참여연구자 주재백 , 조병원 , 조원일 , 김형선 , 김광진
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1988-11
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국과학기술연구원
Korea Institute Of Science and Technology
등록번호 TRKO200200003074
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 가스센서.반도체.고체전해질.

초록

금속산화물 반도체와 고체 전해질을 이용한 가스검지소자를 제작.실험하였다. 벌크형 소자의 경우 산화주석을 기저로 하여 Pd,Pt,Ag,Ru,Au,Mn등을 첨가하여 200℃이상의 고온에서는 C₃H(low 8),CH₄에 대하여 감도가 크게 나타났으며,후막소자는 수소와 프로판,박막소자는 SnO₂,ITO박막의 경우 200℃이상에서 WO₃는 350℃에서 수소에 대한 선택성이 우수하였다. LaF₃를 이용한 산소센서는 산소농도 증가에 따라 기전력의 크기가 지수함수적으로 증가하여 대기중에서 Nernst's식에서 n값이 2로 나타났교 용존산소에 대해

목차 Contents

  • 제1장 서론...14
  • 제1절 연구개발의 목적과 범위...14
  • 제2절 이론적 배경...15
  • 1. 반도체 가스 센서...16
  • 2. 고체 전해질 가스 센서...26
  • 제2장 실험...28
  • 제1절 실험장치...28
  • 1. SnO! 분말의 제조 및 촉매 첨가 장치...28
  • 2. Bulk type 센서 소자의 제조장치...28
  • 3. 박막형 센서 소자의 제조장치...31
  • 4. 고체 전해질 센서 소자의 제조장치...33
  • 5. Bulk type 센서 소자의 가스 검지 장치...33
  • 6. 후막형 및 박막형 센서 소자의 가스 검지 장치...36
  • 7. 고체 전해질 산소 센서 소자의 가스 검지 장치...36
  • 8. proton conductor 수소 센서 소자의 가스 검지 장치...37
  • 제2절 실험방법...39
  • 1. SnO! 분말의 제조 및 촉매 첨가 실험...39
  • 2. Bulk type 센서 소자의 제조 실험...39
  • 3. 후막형 센서 소자의 제조 실험...41
  • 4. 박막형 센서 소자의 제조 실험...42
  • 5. 고체 전해질 센서 소자의 제조 실험...43
  • 6. Bulk type 센서 소자의 가스 검지 실험...45
  • 7. 후막형 센서 소자의 가스 검지 실험...46
  • 8. 박막형 센서 소자의 가스 검지 실험...46
  • 9. 고체 전해질 산소 센서의 가스 검지 실험...46
  • 10. proton conductor 수소 센서 소자의 가스 검지 실험...47
  • 제3장 결과 및 고찰...48
  • 제1절 Bulk type 가스 센서...48
  • 1. SnO! 계 소자...48
  • 2. SnO 계 소자...64
  • 3. SnO!+0.5 Ag계 소자...68
  • 제2절 후막형 가스 센서...74
  • 제3절 박막형 가스 센서...78
  • 1. WO! - 박막 가스 센서...79
  • 2. ITO - 박막 가스 센서...83
  • 3. SnO! - 박막 가스 센서...86
  • 제4절 반도체 가스 센서의 열역학...95
  • 제5절 반도체 가스 센서의 실용화...99
  • 제6절 고체 전해질 가스 센서...105
  • 1. LaF! 산소 센서...105
  • 2. Automonic acid Membrane 수소 센서...114
  • 제7절 상대국 연구기관과의 협력...123
  • 제4장 결론...124
  • 참고문헌...127

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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