초록 ▼

본 연구에서는 레이저 간섭계를 이용하여 가속도계를 교정하기 위한 방법을 개발하기 위해 레지저 간섭계의 특성과 이를 이용한 정밀 진동진폭 측정실험을 하였다. 그 결과 진동의 한 주기동안 변하는 간섭무늬의 수를 충분히 증가시키면 진동진폭을 매우 정확하게 측정할 수 있었으며 표준 가속도계를 이용하여 측정한 결과와 잘 일치하였다. 또한 진동진폭이 작은 경우 간섭무늬 형태외 이론에 의해 유동된 수식을 비교함으로써 간섭계를 이용한 미소 진동진폭 측정방법에 대한 실험도 수행하였다. 이것은 Conputer를 이용하여, 측정한 간섭무늬 형태에 맞는

본 연구에서는 레이저 간섭계를 이용하여 가속도계를 교정하기 위한 방법을 개발하기 위해 레지저 간섭계의 특성과 이를 이용한 정밀 진동진폭 측정실험을 하였다. 그 결과 진동의 한 주기동안 변하는 간섭무늬의 수를 충분히 증가시키면 진동진폭을 매우 정확하게 측정할 수 있었으며 표준 가속도계를 이용하여 측정한 결과와 잘 일치하였다. 또한 진동진폭이 작은 경우 간섭무늬 형태외 이론에 의해 유동된 수식을 비교함으로써 간섭계를 이용한 미소 진동진폭 측정방법에 대한 실험도 수행하였다. 이것은 Conputer를 이용하여, 측정한 간섭무늬 형태에 맞는 Curve Fitting을 하여 진폭을 결정하는 것이다. 이 방법에 의하면 미소 진동진폭을 비교적 정확하게 측정할 수 있다. 마지막으로 새로운 광파 다중반사 시스템을 Miehelson 간섭계에 도입하여 간섭계의 변위측정감도를 증가시켰다. 새로운 다중반사 시스템은 기존의 다중반사 시스템에서 렌즈외 반사경으로 이루어진 평행 반사 시스템을 직각 프리즘으로 대치한 것이다. 이것은 두개의 광학부품으로 이루어진 시스템을 하나의 광학부품으로 대치하여 동일한 효과를 갖게 할 수 있기 때문에 광선정렬(Alignment)에 따르는 번거로움을 줄일 수 있는 장점이 있다. 이러한 다중반사 시스템을 이용하면 미소 진동진폭의 정밀측정이 가능하며 진공면에서의 반사횟수를 증가시킴에 따라 미소 진동진폭의 측정한계를 낮출 수 있다.

목차 Contents

• 표지...1
• 1. 서론...5
• 2. 간섭 원리...7
• 2-1. 간섭이론...7
• 2-2. 가간섭성...10
• 3. 간섭계...12
• 3-1. 광파면 분할 간섭계...12
• 3-2. 광진폭 분할 간섭계...18
• 4. 광학적 진폭측정에 의한 가속도계 교정...24
• 4-1. Ronchi Ruling 방법...25
• 4-2. 간섭무늬 수 측정방법...27
• 4-3. 간섭무늬 소멸방법...30
• 4-4. 다중반사 간섭계...33
• 4-5. Fizeau 간섭계를 이용한 간섭무늬 소멸 방법...36
• 5. 실험결과 및 논의...38
• 5-1. 간섭무늬 수 측정방법...38
• 5-2. 다중반사 간섭계에 의한 진동진폭 측정...62
• 5-3. 기존 진동측정 시스템과의 비교...77
• 6. 결론...79
• 참고문헌...81
• 부록...83