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Diamond film의 제조
Synthesis of Diamond Films 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국화학연구원
Korea Research Institute of Chemical Technology
연구책임자 김윤수
참여연구자 윤민영 , 성명모 , 송명아
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1991-10
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국화학연구원
Korea Research Institute of Chemical Technology
등록번호 TRKO200200003541
DB 구축일자 2013-04-18

초록

본 연구에서는 수행한 내용을 다음과 같이 요약할 수 있다.
1. Radiofrequency plasma CVD reactor의 개선 및 운전과 이를 이용한 다이아몬드 필름의 제조
2. Arc plasma CVD system의 제작 및 운전과 이를 이용한 다이아몬드 필름의 제조
3. 열필라멘트법에 의한 다이아몬드 절삭 공구의 제조

Abstract

목차 Contents

  • 제 1 장 서론...13
  • 제 1 절 연구 개발의 배경...13
  • 제 2 절 연구 목적 및 방법...14
  • 제 2 장 RF Plasma CVD에 의한 다이아몬드 필름의 제조...15
  • 제 1 절 서설...15
  • 제 2 절 실험...16
  • 1. 실험 장치의 제작...16
  • 가. Tube type 반응기...16
  • 나. Bell jar type 반응기...18
  • 2. 시약 및 기기...20
  • 3. 필름의 제조...21
  • 제 3 절 결과 및 논의...22
  • 1. Tube type 반응기...22
  • 가. 장치의 제작...22
  • 나. 필름의 제조...24
  • 2. Bell jar type 반응기...24
  • 가. 장치의 제작...24
  • 나. 필름의 제조...27
  • 제 3 장 DC Arc Discharge Plasma CVD에 의한 다이아몬드 필름의 제조...31
  • 제 1 절 서설...31
  • 제 2 절 실험...32
  • 1. 실험 장치의 제작...32
  • 2. 시약 및 기기...35
  • 3. 필름의 제조...35
  • 제 3 절 결과 및 논의...36
  • 제 4 장 열필라멘트 CVD에 의한 다이아몬드 절삭 공구의 제조...41
  • 제 1 절 서설...41
  • 제 2 절 실험...42
  • 1. 장치의 제작...42
  • 2. 필름의 제조...42
  • 제 3 절 결과 및 논의...44
  • 1. 절삭 공구에 이용되는 다이아몬드 후막의 제조...44
  • 2. Free-standing 다이아몬드 필름의 제조...45
  • 3. 에탄올을 이용한 다이아몬드 공구의 제조...48
  • 제 5 장 X-ray Emission Spectroscopy를 이용한 다이아몬드 필름의 분석...53
  • 제 1 절 서설...53
  • 제 2 절 XES 장치의 구조...54
  • 제 3 절 RF plasma CVD로 제조한 필름의 분석...55
  • 제 6 장 결론...59
  • 참고문헌...60

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참고문헌 (25)

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