초록 ▼

고출력 $CO_{2}$ 레이저를 개발하기 위하여 고속축류형 $CO_{2}$ 레이저를 제작하여 연속출력 730W를 얻었다. 제작된 고속축류형 $CO_{2}$ 레이저는 방전관의 내경이 44mm, 방전길이가 0.8m이며 안정된 균일방전과 전기입력을 크게하기 위하여 기체 주입구를 겸한 6개의 음극을 사용하였다.
또한, 펄스형 고출력 $CO_{2}$ 레이저를 개발하기 위하여 표면 코로나 방전에 의한 예비전리를 이용한 고에너지${\cdot}$

고출력 $CO_{2}$ 레이저를 개발하기 위하여 고속축류형 $CO_{2}$ 레이저를 제작하여 연속출력 730W를 얻었다. 제작된 고속축류형 $CO_{2}$ 레이저는 방전관의 내경이 44mm, 방전길이가 0.8m이며 안정된 균일방전과 전기입력을 크게하기 위하여 기체 주입구를 겸한 6개의 음극을 사용하였다.
또한, 펄스형 고출력 $CO_{2}$ 레이저를 개발하기 위하여 표면 코로나 방전에 의한 예비전리를 이용한 고에너지${\cdot}$고반복률 TEA $CO_{2}$ 레이저 발진기를 설계하였다.

Abstract ▼

The fast-axial flow $CO_{2}$ laser was fabricated and the cw output power of 730 W was obtained. The length of the discharge tube is 0.8 m and the inner diameter is 44 mm. By employing 6-nozzles as gas inlet and cathode electrodes, it was possible to increase the electrical input and the

The fast-axial flow $CO_{2}$ laser was fabricated and the cw output power of 730 W was obtained. The length of the discharge tube is 0.8 m and the inner diameter is 44 mm. By employing 6-nozzles as gas inlet and cathode electrodes, it was possible to increase the electrical input and the discharge uniformity.
A high energy and high repetition rate TEA $CO_{2}$ laser used the surface corona preionization technique has been designed.

목차 Contents

• 제 1 장 서 론 ... 9
• 제 1 절 연구개발의 목적과 범위 ... 9
• 제 2 절 연구개발의 목표 ... 10
• 제 3 절 연구개발의 내용 ... 11
• 제 2 장 고속 축류형 $CO_2 레이저 개발 ... 12
• 제 1 절 서 설 ... 12
• 제 2 절 고속 축류형 $CO_2 레이저 개발 ... 15
• 제 3 절 고속 축류형 $CO_2 레이저의 동작특성 ... 20
• 제 3 장 고에저지-고반복률 TEA $CO_2 레이저 발진기 설계 ... 25
• 제 1 절 서 설 ... 25
• 제 2 절 펄스전원 공급장치 설계 ... 26
• 제 3 절 TEA $CO_2 laser head 설계 ... 30
• 제 4 장 결 론 ... 34
• 참고문헌 ... 36
• 부 록 ... 39