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대출력 엑시머 페이져 개발 연구(I)
A Study on the Development of High Power Excimer Laser(I) 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국전기연구원
Korea Electrotechnology Research Institute
연구책임자 조연옥
참여연구자 이홍식 , 김희제 , 최병주 , 김광화 , 김광수 , 노영수 , 석회용 , 진윤식 , 김영배 , 최영욱 , 윤문수 , 김형식 , 강욱
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1991-07
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국전기연구원
Korea Electrotechnology Research Institute
등록번호 TRKO200200004421
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 대출력 엑시머 레이저.전자빔 여기.막스전원.펄스정현.진공다이오드.레이저 공진기.가이드자장.High Power Excimer Laser.Electron Beam Excitation.Marx Generator.Palse Forming.Vacuum Liode.Laser Resonator.Guiding Coil.

초록 ▼

대출력 엑시머 레이저의 개발을 통하여 국내에서는 처음으로 고전압·대전류 펄스정형기술을 습득함은 물롬 전자빔 여기방식의 엑시머 레이저의 메카니즘을 이해함과 동시에 설계 및 제작기술을 축적하게 되므로써 시스템 자체를 개발할 수 있게 되었다. 국내외의 기술정보를 조사하여 관련 자료수집을 행하였고 이를 통하여 연구에 충실을 기하였다. 또, 펄스 정형 라인의 임피던스 정합을 시뮬레이션을 통하여 확인한 후 모델 엑시머 레이져의 설계 및 제작을 하였다. 전체의 시스템은 막스전원, 펄스정현회로, 스위치, 다이오등, 레이저, 공진기, 가이드자장등으

목차 Contents

  • 제 1 장 서 론...13
  • 제 2 장 엑시머 레이저의 원리...15
  • 제 1 절 엑시머 레이저의 구조...15
  • 제 2 절 엑시머 레이저의 종류...17
  • 제 3 절 전자빔의 안정화...26
  • 제 3 장 엑시머레이저의 설계 및 제작...30
  • 제 1 절 레이저장치의 구성...30
  • 제 2 절 모의 방전...47
  • 제 3 절 레이저의 설계 및 제작...52
  • 제 4 장 엑시머레이저의 특성실험 및 검토...66
  • 제 1 절 모니터 시스템...66
  • 제 2 절 특성실험 및 논의...67
  • 제 5 장 결 론...73
  • 참고문헌...74
  • 감사의 글...77

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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