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온도 및 습도센서 개발
Development of Temperature Sensor and Humidity Sensor 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국표준과학연구원
Korea Research Institute of Standards and Science
연구책임자 감기술
참여연구자 박찬복 , 우상봉 , 김혜옥
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1990-06
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 한국표준과학연구원
Korea Research Institute of Standards and Science
등록번호 TRKO200200004649
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 박막백금저항온도센서.포토리소그라피.열처리.습도센서.플라즈마중합.카본습도센서.Thin Film Type PRT Sensor.Photolithography.Heat Tratment.Humidity Sensor.Plasma Polymerization.Carbon Humidity Sensor.

초록 ▼

산업 및 과학실험용으로 많이 사용되는 온도 및 습도센서를 개발하기 위하여 백금박막 및 감습막제작방법을 확립하고 각각의 특성을 SEM, 저항측정, NMR 및 IR Spectrum으로 확인, 측정하고 시제품을 제작함으로서 온도 및 습도센서 제작의 기반을 마련하였다. 박막백금저항온도센서는 Photolithographic Patterning 방식으로 선폭 50㎛의 박금박막 Pattern 제작후 RF Sputtering으로 제작되었다. 이때 기판으로는 알루미나 및 실리콘 Wafer가 사용되었다. 제작된 시제품의 열처리에 따른 박막의 결정입성

목차 Contents

  • 제 1 장 서 론...15
  • 제 2 장 온도센서...17
  • 제 1 절 이 론...17
  • 제 2 절 박막형 백금저항온도센서 제작...19
  • 1. 센서설계 및 기판준비...19
  • 2. Photolithographic patterning...23
  • 3. 박막제작...24
  • 제 3 절 박막형 백금저항온도센서의 특성...27
  • 1. 열처리에 의한 박막변화...27
  • 2. 박막 두께에 따른 특성...36
  • 3. 온도-저항 특성...37
  • 제 3 장 습도센서...41
  • 제 1 절 기초자료조사...41
  • 제 2 절 습도센서 특성조사...48
  • 1. 정전용량형 습도센서...48
  • 2. 카본습도센서...54
  • 제 3 절 플라즈마 중합막 제작...58
  • 1. 원리 및 장치...58
  • 2. 중합막 제작...61
  • 3. 측정 및 분석...62
  • 제 4 절 감습물질의 제작...68
  • 1. 합성방법...69
  • 2. 합성 물질의 분석...70
  • 제 4 장 결 론...75
  • 참고문헌...77

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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