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고온초전도체 기술 개발;고온초전도체의 전기적 특성 및 초전도 특성 연구
Development of High-Tc Superconductivity Technology;Studies on Electronic and Superconducting Properties of High-Tc Superconductors 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 성균관대학교
SungKyunKwan University
연구책임자 박종철
참여연구자 최무용 , 한재원 , 한영기 , 조광행 , 이은화 , 서성환
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1992-10
주관부처 과학기술부
사업 관리 기관 성균관대학교
SungKyunKwan University
등록번호 TRKO200200004919
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 고온초전도체.박막성장.스퍼터링 방식.전기적 특성.열기전력.YBa/sub z/Cu/sub 3/O/sub 7/-/sub y/.High-Temperature Superconductor.Thin-Film Fabrication.Sputtering Method.Electronic Property.Thermoelectric Power.YBa/sub z/Cu/sub 3/O/sub 7/-/sub y/.

초록 ▼

Single-Target Off-Axis DC-Magnetron Sputtering 방법으로 Mgo(100)기판위에 YBa/sub z/Cu/sub 3/O/sub 7/-/sub y/박막을 In-Situ제조할 때, 기판온도, Sputtering기체의 총압력과 분압비, Target과 기판사이의 거리, 인가전류등의 성장변수들이 박막 성장에 미치는 영향을 조사하였다. 기판온도 670℃,총 압력 300 mtorr,분압비 5:1,기판과 Target 사이의 수평거리 55mm, 수직거리 40-50mm,인가 전류 300-500mA 부근에서 임계온도

Abstract ▼

It is known that there are many variable which influence the quality of high-Tc superconductor films. These variables are related and influence each other and therefore finding the optimum value of each variable is not an easy task. We have studied systematically the optimum conditions for in-situ p

목차 Contents

  • 제1장 서론...15
  • 제2장 고온초전도체 박막 제조...18
  • 제1절 기판온도가 초전도체 박막 성장에 미치는 영향...18
  • 제2절 Sputtering 기체 총압력이 초전도체 박막 성장에 미치는 영향...24
  • 제3절 Sputtering 기체 분압비가 초전도체 박막 성장에 미치는 영향...29
  • 제4절 targer과 기판 사이의 거리가 초전도체 박막 성장에 미치는 영향...33
  • 제5절 인가전류가 초전도체 박막 성장에 미치는 영향...38
  • 제6절 박막 제조 연구 결과 요약...43
  • 제3장 고온초전도체의 전기적 특성 연구...47
  • 제1절 Cu 원소 치환이 YBa2Cu3O7-y의 전기적 특성에 미치는 영향...47

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참고문헌 (25)

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