[보고서]극한기술개발;고진공 기술 개발

이충희

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극한기술개발;고진공 기술 개발
Development of Advanced Technology in Extreme Conditions; Development of High Vacuum Technology 원문보기

보고서 정보
주관연구기관	한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science
연구책임자	이충희
참여연구자	정광화 , 정기형 , 홍승수 , 신용현 , 이철로 , 임재영 , 박재홍 , 정영수 , 강흥식 , 오영국 , 김웅채 , 박성주
발행국가	대한민국
언어	한국어
발행년월	1991-10
주관부처	과학기술부
사업 관리 기관	한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science
등록번호	TRKO200200004962
DB 구축일자	2013-04-18
키워드	초고진공.극고진공.포로우스.플러그.부분압.질량분석기.RGA.TDS.ESD.Ultra high vacuum.Porous plug.Partial pressures.Mass spectrometer.RGA.TDS.ESD.

초록

연구개발의 내용 및 범위
1. 초고진공도 (10/sup -10/ torr) 측정기술 확립
2. 부분압 측정기술 확립
3. 초고진공관련 누설량 및 배기속도 측정기술 개발
4. 열 및 전자조사에 의한 배출가스량 측정

Abstract

목차 Contents

제 1 장 서 론...12
제 2 장 초고진공도 측정기술 확립...14
제 1 절 기체의 분자운동...14
제 2 절 초고진공도 측정시스템의 기본원리 및 구성...22
제 3 절 Porous plug제작 및 conductance 측정...27
제 4 절 Orifice의 conductance결정...42
제 5 절 고진공표준시스템 제작 및 표준압력발생...46
제 6 절 Rp측정...54
제 7 절 초고진공 표준시스템...56
제 3 장 부분압 측정기술 개발...59
제 1 절 QMS의 원리...59
제 2 절 부분압 측정 system 구성...66
제 3 절 부분압 측정...70
제 4 장 Thermal desorption 및 Electron stimulated desorption 측정...77
제 1 절 Thermal desorption 측정...77
제 2 절 Electron stimulated desorption...87
제 5 장 결 론...89
참고자료...90
부 록...92

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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