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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
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연구책임자 | 이충희 |
참여연구자 | 정광화 , 정기형 , 홍승수 , 신용현 , 이철로 , 임재영 , 박재홍 , 정영수 , 강흥식 , 오영국 , 김웅채 , 박성주 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1991-10 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
등록번호 | TRKO200200004962 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 초고진공.극고진공.포로우스.플러그.부분압.질량분석기.RGA.TDS.ESD.Ultra high vacuum.Porous plug.Partial pressures.Mass spectrometer.RGA.TDS.ESD. |
연구개발의 내용 및 범위
1. 초고진공도 (10/sup -10/ torr) 측정기술 확립
2. 부분압 측정기술 확립
3. 초고진공관련 누설량 및 배기속도 측정기술 개발
4. 열 및 전자조사에 의한 배출가스량 측정
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