초록

연구개발의 내용 및 범위
1. 격자상수 측정
- X선 간섭계의 제작
- 광학간섭계의 제작
- 실리콘 격자상수 정밀 측정
2. 밀도측정
- 표준밀도구의 절대밀도 측정
- 수중 질량측정 장치의 제작 및 자동화
- 실리콘 밀도의 정밀 측정

Abstract ▼

1. Lattice constant measurement
$\bigcirc$ Development of an X-ray interferometer
$\bigcirc$ Design and fabrication of an optical interferometer
$\bigcirc$ Precise measurement of the silicon lattice constant
2. Density measurement
$\bigcirc$

1. Lattice constant measurement
$\bigcirc$ Development of an X-ray interferometer
$\bigcirc$ Design and fabrication of an optical interferometer
$\bigcirc$ Precise measurement of the silicon lattice constant
2. Density measurement
$\bigcirc$ Absolute measurement of the standard density ball
$\bigcirc$ Construction and automation of a hydrostatic weighing system
$\bigcirc$ Precise measurement of the silicon density

목차 Contents

• 제1장 연구사업의 개요...11
• 제1절 서론...11
• 제2절 연구의 배경과 필요성...13
• 제3절 연구목표...17
• 제2장 X선 및 광학 간섭계의 제작...18
• 제1절 X선 간섭계 제작을 위한 실리콘의 가공...18
• 제2절 광학 간섭계...24
• 제3장 실리콘의 밀도측정...27
• 제1절 서론...27
• 제2절 측정원리...31
• 제3절 장치제작...36
• 제4절 측정 및 고찰...50
• 제5절 결론...66
• 제4장 결론...67
• 참고문헌...68