초록 ▼

다이아몬드상 카본필름의 저온합성기술로서 RF PECVD와 Triode Type Pulase Discharge Plasme CVD 장비를 제작하고, 다이아몬드상 카본필름의 안정된 합성조건과 필름의 특성을 조절하기 위한 중요한 합성변수에 관한 기초자료를 확보하고자 하였다. 합성된 다이아몬드상 카본필름은 합성조건에 따라 수소를 30~40% 함유하고 있었으며, 합성속도는 0.05에서 2㎛/h 구간의 값을 가지고 있었다. 필름은 수 GPa의 높은 내부압축응력을 가지고 있었으며, 두꺼운 필름의 경우에는 이로 인해 기판으로부터 필름이 분리되는

다이아몬드상 카본필름의 저온합성기술로서 RF PECVD와 Triode Type Pulase Discharge Plasme CVD 장비를 제작하고, 다이아몬드상 카본필름의 안정된 합성조건과 필름의 특성을 조절하기 위한 중요한 합성변수에 관한 기초자료를 확보하고자 하였다. 합성된 다이아몬드상 카본필름은 합성조건에 따라 수소를 30~40% 함유하고 있었으며, 합성속도는 0.05에서 2㎛/h 구간의 값을 가지고 있었다. 필름은 수 GPa의 높은 내부압축응력을 가지고 있었으며, 두꺼운 필름의 경우에는 이로 인해 기판으로부터 필름이 분리되는 현상이 자주 관찰된다. 필름의 마찰계수는 0.04에서 0.06 구간의 값을 가지고 있었다. 이는 Glass보다 30% 이상 작은 값이며, 다른 세라믹재료에 비해서 2배 내지 3배 정도 작은 값이다. 다이아몬드상 카본필름의 응용에 장애가 되고 있는 접착력 증진 기술과 내부응력 조절 기술에 관하여 중점적인 연구를 수행하였으며, 이로부터 접착력 증진기술을 개발하였다. 이를 바탕으로 VTR Head Drum용 Al 합금에 안정된 보호 코팅을 할 수 있었다.

목차 Contents

• 제1장 서론...17
• 제1절 다이아몬드상 카본필름 (DLC)...17
• 제2절 합성기술...21
• 제3절 합성기구...24
• 제4절 필름의 일반적인 합성거동...25
• 제5절 합성된 필름의 구조...26
• 제6절 본 연구의 목적...28
• 제2장 RF Plasma Enhanced CVD에 의한 DLC 필름의 합성...30
• 제1절 RF PECVD 장비의 제작...30
• 제2절 실험방법...34
• 제3절 일반적인 합성거동...35
• 제4절 합성속도...41
• 제5절 수소 함량 및 필름의 구조...47
• 제6절 기계적 특성...54
• 제7절 내부 응력...63
• 제8절 파괴 거동...75
• 제9절 접착강도의 증진기술개발...98
• 제3장 Pulsed Discharge Plasma CVD에 의한 DLC 필름의 합성...100
• 제1절 Triode Plasma CVD 장비...101
• 제2절 실험 방법...104
• 제3절 합성거동...105
• 제4장 결론 및 제안...107
• 참고문헌...110