초록

=== 연구 내용 및 범위 === \\ 1. 원형의 기판위에 다이아몬드상 카본필름을 균일하고 경제성 높게 코팅할 수 있는 합성장비의 개발과 안정화 \\ 2. 합성된 필름의 특성에 미치는 합성변수의 영향에 관한 기초자료 확보 \\ 3. Head Drum의 재료인 Al 합금상에서 다이아몬드상 커본필름의 접착력을 증진하는 기술의 개발 \\ 4. 다이아몬드상 카본필름이 코팅된 Head Drum의 내마모 성능 평가기술의 개발과 성능 평가 (기존의 드럼과 비교). \\ 5. 내마모 시험 및 실장시험을 통해 최적의 합성조건 확립.

목차 Contents

• 제1부 다이아몬드상 카본필름이 코팅된 VTR head drum의 개발...23
• 제1장 서론...23
• 제2장 VTR Head drum 코팅용 플라즈마 합성장비...27
• 제1절 1차년도 연구의 결과와 그 의미...27
• 제2절 VTR드럼의 형상과 코팅을 위한 시편지지부...28
• 제3절 합성장비...32
• 제4절 전원부...34
• 제5절 합성 변수의 조절...36
• 제3장 다이아몬드상 카본필름의 접착력 증진 기술...40
• 제4장 다이아몬드상 카본필름의 합성거동...44
• 제1절 필름의 합성...44
• 제2절 필름의 합성속도...46
• 제3절 필름의 원자 결합구조...52
• 제4절 필름의 조성...57
• 제5절 필름의 경도...59
• 제5장 내마모 시험...63
• 제1절 내마모 시험기...63
• 제2절 마찰 계수...67
• 제3절 코팅된 VTR head drum 의 내마모 특성...71
• 제6장 장착 시험...87
• 제7장 결론 및 제안...89
• 제2부 다이아몬드상 카본필름의 구조 및 특성에 미치는 합성개스의 영향...92
• 참고문헌...93
• 첨부자료1....95
• 첨부자료2....108
• 첨부자료3....127