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NTIS 바로가기주관연구기관 | 서울대학교 Seoul National University |
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연구책임자 | 황기웅 |
참여연구자 | 구자춘 , 김원규 , 정희섭 , 김재성 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1992-09 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 서울대학교 Seoul National University |
등록번호 | TRKO200200006372 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 초고주파 열플라즈마 제트.Microwave Thermal Plasma Jet. |
본 연구에서는 직류 열플라즈마 장치가 가지고 있는 작은 플라즈마의 부피와 특히 전극에 의한 오염이라는 단점과 고주파 열플라즈마 장치의 대전력(20∼30KW)이 필요한 점 등을 해소하기 위하여, 초고주파를 이용하여 전극의 오염이 없는 대면적의 열플라즈마를 낮은 전력으로 높은 압력하에서도 쉽게 발생시키는 장치를 구성하는 것을 목적으로 하여 초고주파의 방전에 있어서 가장 효율적인 방전 구조를 선택하고 확인하였으며,상압에서 2.45GHz,1.4KW의 초고주파 입력으로 전자 온도 2∼3 eV,전자 밀도 10/sup 13/cm/sup -3/인
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