초록 ▼

본 연구에서는 직류 열플라즈마 장치가 가지고 있는 작은 플라즈마의 부피와 특히 전극에 의한 오염이라는 단점과 고주파 열플라즈마 장치의 대전력(20∼30KW)이 필요한 점 등을 해소하기 위하여, 초고주파를 이용하여 전극의 오염이 없는 대면적의 열플라즈마를 낮은 전력으로 높은 압력하에서도 쉽게 발생시키는 장치를 구성하는 것을 목적으로 하여 초고주파의 방전에 있어서 가장 효율적인 방전 구조를 선택하고 확인하였으며,상압에서 2.45GHz,1.4KW의 초고주파 입력으로 전자 온도 2∼3 eV,전자 밀도 10/sup 13/cm/sup -3/인

본 연구에서는 직류 열플라즈마 장치가 가지고 있는 작은 플라즈마의 부피와 특히 전극에 의한 오염이라는 단점과 고주파 열플라즈마 장치의 대전력(20∼30KW)이 필요한 점 등을 해소하기 위하여, 초고주파를 이용하여 전극의 오염이 없는 대면적의 열플라즈마를 낮은 전력으로 높은 압력하에서도 쉽게 발생시키는 장치를 구성하는 것을 목적으로 하여 초고주파의 방전에 있어서 가장 효율적인 방전 구조를 선택하고 확인하였으며,상압에서 2.45GHz,1.4KW의 초고주파 입력으로 전자 온도 2∼3 eV,전자 밀도 10/sup 13/cm/sup -3/인 전극의 오염이 없는 직경이 30mm이상의 대면적의 열플라즈마를 얻을 수 있었다.

목차 Contents

• 제 1 장. 서 론...15
• 제 1 절. 연구 개발의 목적 및 중요성...15
• 가. 연구 개발의 목적...15
• 나. 연구 개발의 필요성...15
• 제 2 절. 연구 개발의 내용 및 범위...18
• 제 2 장. 초고주파 열 플라즈마의 특성 및 분류...20
• 제 1 절. 초고주파 열 플라즈마의 시초...20
• 제 2 절. 초고주파 플라즈마의 특성...20
• 제 3 절. 초고주파 플라즈마의 종류...21
• 제 4 절. 열 플라즈마의 분류...25
• 제 3 장. 세부적인 설계조건...26
• 제 1 절. 사각 도파관에서 진행하는 초고주파 모드...26
• 제 2 절. 동축 도파관에서 진행하는 초고주파 모드...28
• 제 3 절. 노즐...30
• 제 4 절. 진공 유지...34
• 제 5 절. 초고주파 모드 변환...36
• 제 6 절. 초고주파 방전...37
• 제 7 절. 내부 노즐에서의 유체 흐름...39
• 제 8 절 Spacer...41
• 제 4 장. 진 단 방 법...43
• 제 1 절. Single probe...43
• 제 2 절. Double probe...46
• 제 3 절. Triple probe...47
• 제 5 장. 시스템 구성과 방전 특성...55
• 제 1 절. 시스템 구성...55
• 제 2 절. 플라즈마 제트의 형상...61
• 제 6 장. 결 론...64
• 참 고 문 헌...65
• 부 록...67