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NTIS 바로가기주관연구기관 | 서울대학교 Seoul National University |
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연구책임자 | 박종철 |
참여연구자 | 김정구 , 임지순 , 오세정 , 노태원 , 장기주 , 유재준 , 이성철 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1993-10 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 서울대학교 Seoul National University |
등록번호 | TRKO200200006822 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 고온초전도.박막.죠셉슨 접합.스퀴드.조셉슨 접합 이레이.잡음특성.High Tc Superconductor.Thin Film.Josephson Junction.SQUID.Josephson Junction Array.Noise Characteristics. |
본 연구에서는 고온천도체의 소규모응용을 위하여 Multilayer 박막의 제박 SNS형태의 Edge junction,Step-edge junction 및 SQUID 의 제작, Microwave 응용을 위한 Junction Array 및 특성분석을 통한 기본 메커니즘의 이해를 시도하고 있다.다층 박막 고온초전도체의 제작은 DC magnetron sputtering을 사용한 In-Situ방법으로 제작하여 임계온도가 90K 이상의 양질의 박막을 얻었다.제작된 박막은 Ion-Milling에 의한 1㎛선폭의 Pattern을 제작하여 특성을
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